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      大線性范圍壓阻式壓力傳感器的低成本制作方法


      發布日期:[2018-10-23]    作者:昊明壓力傳感器廠家


      壓阻式壓力傳感器

      近日,國家納米科學中心方英研究員和李紅變副研究員(通訊作者)在國際期刊Small上成果發表“高靈敏度寬線性范圍柔性壓阻式壓力傳感器的多尺度遞階設計”的論文。第一作者是博士生史濟東。他們提出了一種簡便的低成本制作大線性范圍壓阻式壓力傳感器的方法。利用表面具有多級次分級結構的荷葉作為模板制備了表面具有大量分級結構微米柱的PDMS基底。進一步在其表面噴涂石墨烯,石墨烯納米片的堆疊褶皺進一步引入分級結構,從而制備了具有多級次分級結構的柔性壓力傳感器。

      大線性范圍壓阻式壓力傳感器的低成本制作方法

      圖1以荷葉為模板制備壓力傳感器。(a)荷葉表面的掃描電鏡圖片;(b)以荷葉為模板制備壓力傳感器的過程示意圖;(c)所制備的壓力傳感器電極表面的掃面電鏡圖片;(d)單根分級結構微米柱的掃描電鏡圖片;(e)所制備的壓力傳感器電極表面的激光高度圖。

      大線性范圍壓阻式壓力傳感器的低成本制作方法

      圖2(a,b)壓力傳感器對不同壓力的電學響應;(c)器件的電學響應隨壓力的變化;(d,e)器件循環1000次的穩定響應;(f)不同初始電阻的器件對壓力的響應對照。

      大線性范圍壓阻式壓力傳感器的低成本制作方法

      圖3(a)具有光滑表面的電極接觸示意圖;(b)具有分級結構的電極接觸示意圖;(c)光滑表面的電極接觸隨壓力變化圖;(d)具有分級結構的電極接觸隨壓力變化圖。

      大線性范圍壓阻式壓力傳感器的低成本制作方法

      圖4(a-c)壓力傳感器對脈搏跳動信號的檢測;(d-e)脈搏對聲音振動信號的檢測。

      大線性范圍壓阻式壓力傳感器的低成本制作方法

      圖5.(a)集成的壓力傳感器陣列;(b)傳感器陣列對不同形狀物體壓力分布的檢測;(c)傳感器陣列對運動軌跡的追蹤。


      所制備的壓力傳感器對不同的壓力均有靈敏快速穩定的響應,其線性工作區間高達0-25 kPa。而且,該器件具有較高的靈敏度,為1.2 kPa-1,且其最低檢測限低至5 Pa。此外,該器件還具有非常好的穩定性,循環使用1000次后器件性能沒有發生明顯變化。有限元分析表明,該器件的多尺度分級結構設計保證了器件在大范圍壓力作用下上下電極接觸面積快速增加,因而實現了器件的大線性工作范圍。


      隨后,進一步利用該壓力傳感器實現了對小的壓力變化,如脈搏跳動,聲音振動等的靈敏監測。而且,還實現了傳感器對大的壓力變化,如手指按壓等的監測,并將壓力傳感器連接LED燈泡實現了壓力可視化監測。最后,還將該器件進行了集成,實現了對壓在器件陣列表面物體形狀的判斷和對運動軌跡的追蹤和還原。為器件在健康監測和電子皮膚等領域的應用奠定了基礎。



      柔性壓力傳感器因其在健康監測及人機交互等領域的潛在應用受到越來越多的關注。根據其工作機制不同,壓力傳感器可分為壓阻式、壓電式、電容式及基于摩擦電子的傳感器。其中,壓阻式壓力傳感器因其器件結構簡單、靈敏度高和信號處理簡便等優勢而被廣泛研究。壓阻式壓力傳感器一般是由兩個在彈性體基底上的電極面對面組裝而成,在不同壓力下,兩個電極的接觸面積不同,從而流經兩個電極的電流不同。根據流經兩個電極的電流變化實現器件對不同壓力的靈敏響應。


      工作的線性范圍是衡量壓力傳感器性能的重要參數。而對于傳統的壓力傳感器,在較低壓力下上下電極接觸快速飽和,當壓力進一步增加時,接觸面積增加緩慢,靈敏度降低,偏離原來的線性。目前,壓阻式壓力傳感器的線性工作區間一般均小于3 kPa,遠小于人類的手握物體,手指按壓,跑步等產生的壓力(大于10 kPa)。若實現這些壓力的檢測,需要額外的計算模塊,為壓力傳感器的設計及可穿戴性能帶來不便。因此,開發大線性范圍的壓阻式壓力傳感器顯得尤為重要。


      通過在基底上引入多級次結構,例如通過選擇性刻蝕銅基底,并利用化學氣相沉積法生長石墨烯制備的PDMS/石墨烯微柱傳感器可以得到0-12 kPa的線性范圍。通過設計呈高斯分布的模板制備的壓力傳感器線性范圍為0-14 kPa。然而,這些傳感器制備方法復雜,成本高,不適合批量化制備。




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