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      硅壓阻式充油芯體擴散硅壓力傳感器的技術特點和介紹


      發布日期:[2018-12-15]    作者:昊明壓力傳感器價格


      一、硅壓阻式充油芯體(擴散硅壓力傳感器)技術特點:

      1、 耐腐蝕性好,由于擴散硅材料本身優良的化學防腐性能好,即使壓力傳感器受壓面不隔離,也能在普通使用中適應各種介質。硅材料又與硅油有良好的兼容性,使它在采用防腐材料隔離時結構工藝更易于實現。加之它 的低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質安全防爆的特點,可替代諸多同類型的同功能產品,具有最優良的性能價格比。

      2、頻響高,由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高,一般在 50KC。制造過程采用了集成工藝,膜片的有效面積可以很小,配以剛性結 構前置安裝特殊設計,使擴散硅壓力傳感器頻率響應很高,使用帶寬可達零頻至 100 千赫茲。

      3、 精度高,擴散硅壓力傳感器的感受、敏感轉換和檢測三位一體,無機械動件連接轉換環節,所以重復性和遲滯誤差很小。由于硅材料 的剛性好,形變小,因而傳感器的線性也非常好。因此綜合表態精度很高。 

      4、 抗電擊穿性能好,由于采用了特殊材料和裝配工藝,擴散硅傳感器不但可以做到 130℃正常使用,在強磁場、高電壓擊穿試驗中可抗 擊 1500V/AC 電壓的沖擊。

      5、 靈敏度高,擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應變片高 50~80 倍,它的滿量程信號輸出在 80-100mv 左右。對接口電路適配性好,應用 成本相應較低。由于它輸入激勵電壓低,輸出信號大,且無機械動件損耗,因而分辨率極高。 

      6、 溫度性能好,隨著集成工藝技術進步,擴散硅敏感膜的四個電阻一致性得到進一步提高,原始的手工補償已被激光調阻、 計算機自動修整技術所替代,擴散硅壓力傳感器的零位和靈敏度溫度系數已達 10-5/℃數量級,工作溫度也大幅度提高。 

      7、 可靠性高,擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應變數量級,膜片最大位移量在來微米數量級,且無機械磨損,無疲勞,無老化。平均無 故障時間長,性能穩定,可靠性高。 

      擴散硅壓力傳感器

      二、 硅壓阻式充油芯體(擴散硅壓力傳感器)介紹:
      硅單晶材料在受到外力作用產生極微小應變時(一般步于 400 微應變) ,其內部原子結構的電子能級狀態會發生變化,從而導 致其電阻率劇烈變化(G 因子突變) 。用此材料制成的電阻也就出現極大變化,這種物理效應稱為壓阻效應。利用壓阻效應原 理,采用集成工藝技術經過摻雜、擴散,沿單晶硅片上的特點晶向,制成應變電阻,構成惠斯凳電橋,利用硅材料的彈性力 學特性,在同一切硅材料上進行各向異性微加工,就制成了一個集力敏與力電轉換檢測于一體的擴散硅傳感器。給擴散硅壓力傳感器匹 配一放大電路及相關部件,使之輸出一個標準信號,就組成了一臺完整的擴散硅壓力變送器。



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